加工中心激光干涉儀常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測和補(bǔ)償。中圖儀器SJ6000激光干涉儀件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值,，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償,，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,。具有測量精度高、測量范圍大,、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃,，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣,、測量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,，請聯(lián)系我們獲取

SJ6000加工中心激光干涉儀集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí),；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集,、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),，支持中文,、英文和俄文語言,，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>

SJ6000激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,，以及進(jìn)行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。